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半導(dǎo)體行業(yè)清洗是將產(chǎn)品表面上產(chǎn)生的顆粒、有機(jī)物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物去除,以獲得所需潔凈表面的工藝過(guò)程。在襯底片制造、集成電路制造、封裝、測(cè)試及半導(dǎo)體部件制造過(guò)程中,幾乎所有制程的前后都需要清洗環(huán)節(jié)。目前槽式清洗機(jī)是清洗的其中重要的清洗形式。