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預(yù)清洗 4槽

預(yù)清洗 4槽

  • 所屬分類：晶圓制造
  • 瀏覽次數(shù)：
  • 二維碼：
  • 發(fā)布時(shí)間：2022-11-27 12:30:57
我要詢價(jià)
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過(guò)濾器

機(jī)器人

伺服電機(jī)

化學(xué)槽

拋動(dòng)、兆聲波、自動(dòng)補(bǔ)液、冷卻系統(tǒng)

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝


2、工程案例工藝

SPM→ QDR→ OF

標(biāo)簽

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