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去蠟清洗機(jī) 6-7槽

去蠟清洗機(jī) 6-7槽

  • 所屬分類(lèi):晶圓制造
  • 瀏覽次數(shù):
  • 二維碼:
  • 發(fā)布時(shí)間:2022-11-27 13:04:49
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

~12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過(guò)濾器

機(jī)器人

伺服電機(jī)

化學(xué)槽

搖動(dòng)、超聲波清洗、循環(huán)過(guò)濾

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝


2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → QDR→ 純水超聲清洗 → OF 


標(biāo)簽

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