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HF腐蝕機(jī) 6槽

HF腐蝕機(jī) 6槽

  • 所屬分類：半導(dǎo)體器具
  • 瀏覽次數(shù)：
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  • 發(fā)布時(shí)間：2022-11-27 13:07:37
我要詢價(jià)
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過(guò)濾器

機(jī)器人

伺服電機(jī)

化學(xué)槽

搖動(dòng)、超聲波清洗、兆聲波

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝

干燥

S/D


2、工程案例工藝

預(yù)清洗 → HF腐蝕 → 洗劑超聲清洗 → 純水超聲清洗 → 干燥

標(biāo)簽

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