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研磨拋光后 單/雙面過程精刷洗機

研磨拋光后 單/雙面過程精刷洗機

  • 所屬分類：晶圓制造
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  • 發(fā)布時間：2022-11-27 13:51:30
我要詢價
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

清洗方式

單片式、單雙面清洗

傳送方式

可選標量機器人/正交機器人

機器人

根據(jù)機器人過程確定數(shù)量， 具備上下、前后、行走、卡盤驅(qū)動

上下料方式

支持 LD & ULD PFE、OPEN、FOSB、FOUP盒式

供應/儲存

電阻率計安裝

干燥方法

氣刀+旋轉(zhuǎn)干燥

機臺構(gòu)造

框架為金屬骨架焊接結(jié)構(gòu)，包PP板防腐蝕。頂部安裝FFU

處理時間

一盒（25片）50-70分鐘


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