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基板清洗機(jī)

基板清洗機(jī)

  • 所屬分類:半導(dǎo)體器具
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  • 發(fā)布時(shí)間:2022-11-27 14:17:44
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

處理張數(shù)

3片或5片

傳送方式

機(jī)械臂

清洗方式

根據(jù)使用清洗方法的過程確定清洗槽的結(jié)構(gòu)。

上下料方式

人工手推車或AGV小推車上料

干燥方法

微波干燥

機(jī)臺(tái)構(gòu)造

框架為金屬骨架焊接結(jié)構(gòu),包PP板防腐蝕。頂部安裝FFU

處理時(shí)間

一藍(lán)(3片或5片)20分(1200秒)


2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → 微納米清洗 → BJ噴淋清洗 → 吹水濾干 → 微波干燥

標(biāo)簽

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