1、規(guī)格
處理工件 | 半導(dǎo)體成品、半成品、材料 |
工作放線(xiàn) | 將高純氮?dú)獬淙牍駜?nèi),使柜內(nèi)形成微正壓,隔絕外界空氣,形成良好的干燥無(wú)氧氣的潔凈存儲(chǔ)空間。 |
上下料方式 | 人工擺放 |
輔助通用設(shè)備-氮?dú)夤?/span>
1. 應(yīng)用領(lǐng)域:
u 集成電路,光伏,功率器件,微機(jī)電系統(tǒng)等。
2. 技術(shù)參數(shù):
u 氮?dú)饧兌龋捍笥?/span>99.99%污水無(wú)油
u 容積:1440L
u 層板:5層
u 內(nèi)尺寸:W1195*H1770*D680mm
u 平均功率:≤10W
u 啟動(dòng)電流:≤3A
u 接口管徑:Ф8mm
u 濕度精度:±3%RH
u 溫度精度:±0.5度
u 進(jìn)氣壓力:≤0.4MPA
u 流量要求:≤25/min