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切割后清洗機-2-3槽

切割后清洗機-2-3槽

  • 所屬分類：晶圓制造
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  • 發(fā)布時間：2022-11-27 12:15:31
我要詢價
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格


晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過濾器

機器人

伺服電機

化學槽

超聲波清洗，拋動

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計安裝




2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → QDR → DI水超聲清洗

標簽

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