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研磨后清洗機(jī)  4-7槽

研磨后清洗機(jī) 4-7槽

  • 所屬分類:晶圓制造
  • 瀏覽次數(shù):
  • 二維碼:
  • 發(fā)布時(shí)間:2022-11-27 12:24:36
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

~12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過濾器

機(jī)器人

伺服電機(jī)

化學(xué)槽

超聲波清洗,拋動(dòng)

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝


2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → QDR → DI水超聲清洗

標(biāo)簽

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