聯(lián)系人:張先生
手 機(jī):18688936562
電 話:0769-82252690
郵 箱:zhangpeng@gdfanlin.com
地 址:廣東東莞塘廈昊建工業(yè)園3棟
地 址:廣東深圳龍華金科工業(yè)園C棟
1、規(guī)格
晶圓尺寸
~12英寸
HEPA或ULPA
內(nèi)置過濾器
機(jī)器人
伺服電機(jī)
化學(xué)槽
搖動(dòng)、超聲波清洗、兆聲波、在線加熱
沖洗槽
鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝
2、工程案例工藝
去蠟 → QDR → DHF → QDR → SPM → HQDR → SC1 → QDR