聯(lián)系人：張先生
手 機(jī)：18688936562
電 話：0769-82252690
郵 箱：zhangpeng@gdfanlin.com
地 址：廣東東莞塘廈昊建工業(yè)園3棟
地 址：廣東深圳龍華金科工業(yè)園C棟
1、規(guī)格
晶圓尺寸 | ～12英寸 |
HEPA或ULPA | 內(nèi)置過(guò)濾器 |
機(jī)器人 | 伺服電機(jī) |
化學(xué)槽 | 搖動(dòng)、超聲波清洗、兆聲波、在線加熱 |
沖洗槽 | 鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝 |
2、工程案例工藝
SPM → HQDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → OF
電話：18688936562
郵箱：zhangpeng@gdfanlin.com
地址：廣東東莞塘廈昊建工業(yè)園3棟 廣東深圳龍華區(qū)觀瀾街道觀寶路3號(hào)高尖科技園