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北流預清洗 4槽

北流預清洗 4槽

  • 所屬分類：北流晶圓制造
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  • 發(fā)布時間：2022-11-27 12:30:57
我要詢價
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過濾器

機器人

伺服電機

化學槽

拋動、兆聲波、自動補液、冷卻系統(tǒng)

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計安裝


2、工程案例工藝

SPM→ QDR→ OF

標簽

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