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蓋州HF腐蝕機 6槽

蓋州HF腐蝕機 6槽

  • 所屬分類：蓋州半導體器具
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  • 發(fā)布時間：2022-11-27 13:07:37
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  • 產品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內置過濾器

機器人

伺服電機

化學槽

搖動、超聲波清洗、兆聲波

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計安裝

干燥

S/D


2、工程案例工藝

預清洗 → HF腐蝕 → 洗劑超聲清洗 → 純水超聲清洗 → 干燥

標簽

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