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青海研磨拋光后 單/雙面過程精刷洗機(jī)

青海研磨拋光后 單/雙面過程精刷洗機(jī)

  • 所屬分類:青海晶圓制造
  • 瀏覽次數(shù):
  • 二維碼:
  • 發(fā)布時(shí)間:2022-11-27 13:51:30
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格

清洗方式

單片式、單雙面清洗

傳送方式

可選標(biāo)量機(jī)器人/正交機(jī)器人

機(jī)器人

根據(jù)機(jī)器人過程確定數(shù)量, 具備上下、前后、行走、卡盤驅(qū)動(dòng)

上下料方式

支持 LD & ULD PFE、OPEN、FOSB、FOUP盒式

供應(yīng)/儲(chǔ)存

電阻率計(jì)安裝

干燥方法

氣刀+旋轉(zhuǎn)干燥

機(jī)臺(tái)構(gòu)造

框架為金屬骨架焊接結(jié)構(gòu),包PP板防腐蝕。頂部安裝FFU

處理時(shí)間

一盒(25片)50-70分鐘


標(biāo)簽

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