1、規(guī)格

適用藥液：ST-250、EKC、H2O2、 NH4OH、HCL、 HF、TMAH、 BOE、H2SO4、 HNO3、H3PO4 等化學(xué)藥液。

CDS供液系統(tǒng) 型號(hào)：FLS-2000A系列

1. 應(yīng)用領(lǐng)域：

u 集成電路、先進(jìn)封裝、光伏、微機(jī)電系統(tǒng)、半導(dǎo)體照明

u 改性醇醚具有優(yōu)異的洗滌力，滲透乳化能力。耐酸、耐堿、耐氯、耐過(guò)氧化物及高溫。

2. 技術(shù)參數(shù)：

u  輸入電壓：AC220V 50~60HZ

u  最大輸入功率：10KVA

u  控制方式：PLC 和HMI

u  防腐處理：所有可能與酸霧接觸的電氣及線(xiàn)路均經(jīng)PFA

u  隔絕處理；電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件

u  管路施工：采用套管方式，杜絕漏液

u  檢測(cè)警報(bào)功能：漏液檢測(cè)，管道壓力檢測(cè)，空桶加測(cè)，流量異常檢測(cè)等等