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三沙拋光后清洗機 6-8槽

三沙拋光后清洗機 6-8槽

  • 所屬分類：三沙晶圓制造
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  • 發(fā)布時間：2022-11-27 12:28:40
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  • 產品概述

1、規(guī)格

晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內置過濾器

機器人

伺服電機

化學槽

搖動、超聲波清洗、兆聲波、在線加熱

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計安裝


2、工程案例工藝

SPM → HQDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → OF


標簽

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