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遵化切割后清洗機(jī)-2-3槽

遵化切割后清洗機(jī)-2-3槽

  • 所屬分類：遵化晶圓制造
  • 瀏覽次數(shù)：
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  • 發(fā)布時(shí)間：2022-11-27 12:15:31
我要詢價(jià)
  • 產(chǎn)品概述

1、規(guī)格


晶圓尺寸

～12英寸

HEPA或ULPA

內(nèi)置過(guò)濾器

機(jī)器人

伺服電機(jī)

化學(xué)槽

超聲波清洗，拋動(dòng)

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計(jì)安裝




2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → QDR → DI水超聲清洗

標(biāo)簽

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